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硅烷气体检测仪

硅烷气体检测仪主要用于检测环境空气中泄漏积聚的甲硅烷蒸气的浓度含量,从类型上来看,主要可以分为固定在线式硅烷检测仪和便携式硅烷气体测漏仪两大类,超标声光振动报警,信号远程传输,并且都可选配温湿度测量、无线传输、降温除尘除湿、集中显示联锁控制等功能。
固定在线式硅烷气体检测报警仪
ERUN-PG51SH4固定在线式硅烷气体检测报警仪适用于单晶硅、多晶硅、非晶硅、金属硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等含硅物质生产过程中空气中的SiH4四氢化硅气体浓度监测,固定
便携泵吸式硅烷气体检测报警仪
ERUN-PG71S4-SH4便携泵吸式硅烷气体检测报警仪适用于多晶硅、金属硅化物、碳化硅、单晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅等含硅物质生产过程中空气中的SiH4四氢化硅气体浓度检测,
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