作为半导体器件和集成电路制造中重要的掺杂气体之一，砷烷由于可以调整材料的电性能，改变半导体材料的电导率，在晶片表面沉积掺杂剂砷烷，从而实现电阻、PN 结、埋层等的生产制造。然而由于砷烷既属于可燃易爆气体同时又属于对人体有毒有害的气体，一旦发生泄漏危害极大，那么
半导体掺杂砷烷气体泄漏危害有哪些呢？一般而言，主要包括气体燃爆、人员中毒和致癌性等方面危害，而在现场安装使用
集成电路掺杂气体砷化氢浓度监测仪器就可以对砷烷的泄漏进行监测，避免危险的发生。
半导体器件和集成电路制造砷烷掺杂工艺主要工艺流程：
1、
准备掺杂气体按照所需比例将砷烷等掺杂气体混合，并通过流量控制器精确调节气体流量。
2、
芯片装载将待掺杂的芯片装载到晶圆台上，并将其固定在掺杂设备的腔室中。
3、
加热使用加热器将芯片加热到制定温度，确保其表面能够吸附掺杂气体。
4、
清洗停止掺杂气体供应，排出残余气体，并通入氮气或其他清洗气体，对芯片表面进行清洁处理。
5、
封装从掺杂设备中取出芯片，并进行封装。
半导体器件和集成电路制造砷烷泄漏主要危害如下：
1、
气体燃爆砷烷属于可燃易爆气体，爆炸极限为4.5%~100%VOL，泄漏积聚到环境空气中的砷烷气体浓度处于此范围内时，遇明火、电弧、火花、高温等就会发生爆炸。
2、
人员中毒砷烷属于对人体有毒有害的气体，国家标准《GBZ 2.1-2019 工作场所有害因素职业接触限值 第1部分：化学有害因素》中，砷化氢的职业接触限值MAC为0.03mg/m3，临界不良健康效应为强溶血作用，多发性神经炎。
3、
致癌性2017年10月27日，世界卫生组织国际癌症研究机构公布的致癌物清单初步整理参考，砷和无机砷化合物在1类致癌物清单中。
以采用进口高精度气体传感器的ERUN-PG51SAX3
固定在线式砷化氢检测报警仪为例，可以同时检测并显示砷化氢（砷烷）AsH3气体的浓度值，超标声光报警，并联锁自动控制排气风机的启停，测量数据结果可通过分线制4-20 mA模拟信号量或总线制RS 485（Modbus RTU）数字量信号以及无线模式传输，通过ERUN-PG36E气体报警控制器在值班室实时显示硅烷的浓度值，并相应的触发报警动作。
半导体器件和集成电路制造固定在线式砷烷气体检测报警仪技术参数：
产品型号：ERUN-PG51SAX3
检测气体：砷化氢（砷烷）AsH3
量程分辨率：
AsH3：0-10ppm、0.01ppm、进口高精度ECD电化学原理传感器
其他量程、原理、分辨率可订制
精度误差：≤±2%F.S.（更高精度可订制）
显示方式：报警器2.5寸彩屏现场显示浓度值；控制器主机9寸彩屏值班室显示浓度值
报警方式：现场声光报警，值班室声光报警
数据传输：4-20mA、RS485，可选无线传输
防护功能：IP66级防水防尘
防爆功能：隔爆型，Ex d ⅡC T6 Gb级防爆
以上就是关于
半导体掺杂砷烷气体泄漏危害有哪些呢的相关介绍，砷烷是一种由一个砷原子和三个氢原子组成的化合物，其分子式为AsH3，在半导体器件和集成电路制造中具有广泛应用，是制造高性能半导体器件和集成电路的关键材料之一。然而，由于砷烷具有包括气体燃爆、人员中毒和致癌性等在内的多种危险，及时发现其泄漏就显得十分重要了。通过在现场安装使用
集成电路掺杂气体砷化氢浓度监测仪器就可以24小时不间断连续实时在线监测空气中泄漏的砷烷浓度值，并超标报警提醒，以免安全事故的发生。
