作为半导体制造过程的重要工艺之一，等离子蚀刻在晶圆制造、线路板制造、太阳能电池板制造等行业中被广泛应用，而四氟化碳则是重要的等离子蚀刻气体之一，在生产储运过程中被压缩的CF4不可避免存在着泄漏的危险。那么
等离子表面蚀刻气体四氟化碳泄漏的危害有哪些呢？一般而言，四氟化碳泄漏浓度过高对人体的影响主要包括呼吸系统影响、中毒作用、黏膜刺激、神经系统影响等，而在现场安装使用
四氟甲烷CF4泄漏浓度监测报警器就是为了对四氟甲烷泄漏浓度持续进行监测，以免发生危险。
等离子体刻蚀机是基于真空中的高频辉光放电反应将四氟化碳中的氟离子电离出来，使反应气体激活成活性粒子，与被刻蚀材料起化学反应产生辉发性物质进行刻蚀。同时为了保证氟离子的浓度和刻蚀速度必须加入一定比例的氧气生成二氧化碳。四氟化碳由于在等离子表面处理设备中被电离后会产生含氢氟酸成分的蚀刻性气相等离子体，能够有效地对各种有机表面实现有机物去除及等离子刻蚀的作用。
四氟化碳能引起快速窒息，接触后可引起头痛、恶心和呕吐。四氟化碳，又称作四氟甲烷、全氟甲烷、R14，化学式为CF4，在常温常压状态下是一种无色无臭有轻微醚味的气体，惰性低毒物质，在高浓度下是窒息剂，在高温时，或与可燃气体一同燃烧时，分解出有毒的氟化物。若人体吸入高浓度四氯化碳,可能会产生头痛、恶心、头昏眼花及心血管系统的破坏(主要是心脏)。
四氟化碳泄漏对人体的主要危害如下：
1、
呼吸系统影响四氟化碳可抑制人体呼吸机能，引起呼吸困难、气喘、胸闷、干咳、喉咙疼痛等呼吸道症状。
2、
中毒作用四氟化碳会进入人体血液循环系统，抵达不同的器官和组织，通过作用于代谢和神经系统引起长期或短期的中毒效应，包括头晕、昏厥、恶心、呕吐等。
3、
粘膜刺激四氟化碳可对眼结膜、口腔和鼻腔等黏膜组织造成刺激和损伤，引起眼疼、干咳、流泪、鼻塞等症状。
4、
神经系统影响长期暴露于四氟化碳环境中，可能对人体神经系统产生影响，如头疼、头晕、嗜睡、无力等。
以赢润集团研发生产的ERUN-PG71S6-CF4
便携泵吸式R14四氟化碳检测报警仪和ERUN-PG51CF4
固定在线式四氟化碳R14检测报警仪为例，可分别针对便携手持方便快速检测和固定安装实时在线监测四氟化碳CF4气体的浓度值，并可根据需求选配风速、压力、噪声、PM2.5、PM10、风向、温湿度等参数指标。
便携手持式四氟化碳气体报警仪技术参数：
产品型号：ERUN-PG71S6-CF4
检测气体：四氟化碳CF4
量程范围：0-2000ppm、1ppm、进口高精度红外原理传感器，其他量程、原理、分辨率可订制
精度误差：≤±2%F.S.
最小显示：0.001ppm、0.001%VOL、0.1%LEL
方法原理：电化学、催化燃烧、红外、激光、PID光离子、热导等
测量方式：泵吸式，流量500毫升/分钟
显示方式：2.5寸高清彩屏
报警方式：声音+闪光+振动+屏幕、关闭报警可选
响应时间：T90≤20秒
工作电源：3.7 V DC，6000 mA可充放电池
数据存储：标配10万条，支持定时存储或只存储报警信息
数据传输：USB、RS232，可选配RS485
防护形式：IP67级防水防尘
防爆形式：Ex ia ⅡC T4 Ga级防爆
外型尺寸：178×67×40mm(L×W×H)
产品重量：350 g
温度测量：-40℃~+120℃、精度0.5℃（选配）
湿度测量：0-100%RH、精度3 %RH（选配）
采样手柄：1.2m可伸缩采样手柄（选配）
固定在线式四氟化碳气体检测报警仪技术参数：
产品型号：ERUN-PG51CF4
检测气体：四氟化碳CF4
量程范围：0-2000ppm、1ppm、进口高精度红外原理传感器，其他量程、原理、分辨率可订制
精度误差：≤±2%F.S.（更高精度可订制）
显示方式：报警器2.5寸彩屏现场显示浓度值；控制器主机9寸彩屏值班室显示浓度值
报警方式：现场声光报警，值班室声光报警
数据传输：4-20mA、RS485，可选无线传输
防护功能：IP65级防水防尘
防爆功能：隔爆型，Ex d ⅡC T6 Gb级防爆
以上就是关于
等离子表面蚀刻气体四氟化碳泄漏的危害的相关介绍，四氟化碳在被等离子清洗机电离后会产生含氢氟酸成分的刻蚀性气相等离子体，能够对各种有机表面实现刻蚀及有机物去除。四氟化碳是一种无色、无味、无毒的气体，如果泄漏到室内空气中，由于其密度比空气高，会沉积在低处，造成室内环境的污染和危害。而在现场安装使用
四氟甲烷CF4泄漏浓度监测报警器就可以24小时不间断连续实时在线监测环境空气中的四氟化碳气体的浓度值，并在其异常时进行报警，以免危害人体健康。
